文献
J-GLOBAL ID:201802223156770384
整理番号:18A1030848
くし形駆動加速度計の性能に及ぼす形状スケーリングの影響【JST・京大機械翻訳】
Influence of geometry scaling on comb-drive accelerometer performance
著者 (4件):
Szermer Michal
(Department of Microelectronics and Computer Science, Lodz University of Technology, Lodz, Poland)
,
Zajac Piotr
(Department of Microelectronics and Computer Science, Lodz University of Technology, Lodz, Poland)
,
Starzak Lukasz
(Department of Microelectronics and Computer Science, Lodz University of Technology, Lodz, Poland)
,
Zabierowski Wojciech
(Department of Microelectronics and Computer Science, Lodz University of Technology, Lodz, Poland)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2018
号:
MEMSTECH
ページ:
118-121
発行年:
2018年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)