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文献
J-GLOBAL ID：201802224636246586
整理番号：18A1358454
回転可能ターゲットからのMoベース多成分薄膜のスパッタ蒸着:実験とシミュレーション【JST・京大機械翻訳】
Sputter deposition of Mo-based multicomponent thin films from rotatable targets: Experiment and simulation
Rausch Martin
(Department of Physical Metallurgy and Materials Testing, Montanuniversitaet Leoben, Franz-Josef-Strasse 18, 8700 Leoben, Austria)
,
Pavlovic Marius
(Faculty of Electrical Engineering and Information Technology, Slovak University of Technology in Bratislava, Ilkovicova 3, 812 19 Bratislava 1, Slovak Republic)
,
Kreiml Patrice
(Department of Materials Physics, Montanuniversitaet Leoben, Jahnstrasse 12, 8700 Leoben, Austria)
,
Cordill Megan J.
(Erich Schmid Institute of Materials Science, Austrian Academy of Sciences, Jahnstrasse 12, 8700 Leoben, Austria)
,
Winkler Jorg
(Business Unit Coating, Plansee SE, Metallwerk-Plansee-Strasse 71, 6600 Reutte, Austria)
,
Mitterer Christian
(Department of Physical Metallurgy and Materials Testing, Montanuniversitaet Leoben, Franz-Josef-Strasse 18, 8700 Leoben, Austria)
資料名：
Applied Surface Science
(Applied Surface Science)
巻： 455 ページ： 1029-1036 発行年： 2018年
JST資料番号： B0707B ISSN： 0169-4332 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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