文献
J-GLOBAL ID:201802225328063150
整理番号:18A1938142
LED加熱シリコンウエハのオブザーバに基づく温度制御【JST・京大機械翻訳】
Observer-based temperature control of an LED heated silicon wafer
著者 (5件):
Kleindienst Martin
(Institute of Automation and Control, Graz University of Technology, 8010 Graz, Austria)
,
Kleindienst Martin
(Lam Research AG, 9500 Villach, Austria)
,
Reichhartinger Markus
(Institute of Automation and Control, Graz University of Technology, 8010 Graz, Austria)
,
Horn Martin
(Institute of Automation and Control, Graz University of Technology, 8010 Graz, Austria)
,
Staudegger Felix
(Lam Research AG, 9500 Villach, Austria)
資料名:
Journal of Process Control
(Journal of Process Control)
巻:
70
ページ:
96-108
発行年:
2018年
JST資料番号:
W0388A
ISSN:
0959-1524
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)