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文献
J-GLOBAL ID：201802226437359955
整理番号：18A1044539
系統的弱点発見最適化の設計【JST・京大機械翻訳】
Design systematic weak point discovery optimization
Singh Sonal
(Contamination Free Manufacturing, GLOBALFOUNDRIES Inc., Malta, NY 12020 USA)
,
Venkatachalam Panneer Selvam
(Contamination Free Manufacturing, GLOBALFOUNDRIES Inc., Malta, NY 12020 USA)
,
Lee Julie
(Contamination Free Manufacturing, GLOBALFOUNDRIES Inc., Malta, NY 12020 USA)
,
Daino Michael
(KLA-Tencor Corporation, One Technology Drive, Milpitas, CA 95035 USA)
,
Saville Barry
(KLA-Tencor Corporation, One Technology Drive, Milpitas, CA 95035 USA)
,
Lenox Chet
(KLA-Tencor Corporation, One Technology Drive, Milpitas, CA 95035 USA)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2018 号： ASMC ページ： 18-22 発行年： 2018年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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