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文献
J-GLOBAL ID：201802226522708899
整理番号：18A1261016
プラズマ支援研磨による単結晶ダイヤモンドウエハの無損傷高効率研磨【JST・京大機械翻訳】
Damage-free highly efficient polishing of single-crystal diamond wafer by plasma-assisted polishing
Yamamura K.
(Division of Precision Science & Technology and Applied Physics, Graduate School of Engineering, Osaka University, 2-1 Yamadaoka, Suita, Osaka, Japan)
,
Yamamura K.
(Research Center for Ultra-precision Science and Technology, Graduate School of Engineering, Osaka University, 2-1 Yamadaoka, Suita, Osaka, Japan)
,
Emori K.
(Division of Precision Science & Technology and Applied Physics, Graduate School of Engineering, Osaka University, 2-1 Yamadaoka, Suita, Osaka, Japan)
,
Sun R.
(Division of Precision Science & Technology and Applied Physics, Graduate School of Engineering, Osaka University, 2-1 Yamadaoka, Suita, Osaka, Japan)
,
Ohkubo Y.
(Research Center for Ultra-precision Science and Technology, Graduate School of Engineering, Osaka University, 2-1 Yamadaoka, Suita, Osaka, Japan)
,
Endo K.
(Research Center for Ultra-precision Science and Technology, Graduate School of Engineering, Osaka University, 2-1 Yamadaoka, Suita, Osaka, Japan)
,
Yamada H.
(Advanced Power Electronics Research Center, Department of Energy and Environment, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology, 1-8-31 Midorigaoka, Ikeda, Japan)
,
Chayahara A.
(Advanced Power Electronics Research Center, Department of Energy and Environment, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology, 1-8-31 Midorigaoka, Ikeda, Japan)
,
Mokuno Y.
(Advanced Power Electronics Research Center, Department of Energy and Environment, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology, 1-8-31 Midorigaoka, Ikeda, Japan)
資料名：
CIRP Annals. Manufacturing Technology
(CIRP Annals. Manufacturing Technology)
巻： 67 号： 1 ページ： 353-356 発行年： 2018年
JST資料番号： E0026A ISSN： 0007-8506 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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