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文献
J-GLOBAL ID:201802227288483567   整理番号:18A1698777

光熱偏向分光法によるMgイオン注入GaN層の評価

著者 (8件):
福田清貴
(物質・材料研究機構)
福田清貴
(工学院大)
高島信也
(富士電機)
尾沼猛儀
(工学院大)
山口智広
(工学院大)
本田徹
(工学院大)
上殿明良
(筑波大)
角谷正友
(物質・材料研究機構)

資料名:
応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))

巻: 79th  ページ: ROMBUNNO.19p-CE-15  発行年: 2018年09月05日 
JST資料番号: Y0055B  ISSN: 2758-4704  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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