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J-GLOBAL ID：201802227288483567 整理番号：18A1698777

光熱偏向分光法によるMgイオン注入GaN層の評価

著者 (8件)：

福田清貴

(物質・材料研究機構)

福田清貴

(工学院大)

高島信也

(富士電機)

尾沼猛儀

(工学院大)

山口智広

(工学院大)

本田徹

(工学院大)

上殿明良

(筑波大)

角谷正友

(物質・材料研究機構)

資料名：

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) (Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))

巻： 79th ページ： ROMBUNNO.19p-CE-15 発行年： 2018年09月05日
JST資料番号： Y0055B ISSN： 2758-4704 資料種別：会議録 (C)
記事区分：短報発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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