文献
J-GLOBAL ID:201802227775971625
整理番号:18A0159841
プラズマ化学反応のためのICP/RFプラズマトーチ中の過程の数学的シミュレーション【Powered by NICT】
Mathematical Simulation of Processes in ICP/RF Plasma Torch for Plasma Chemical Reactions
著者 (2件):
Ivanov Dmitry V.
(Peter the Great St.Petersburg Polytechnic University, St. Petersburg, Russia)
,
Zverev Sergei G.
(Peter the Great St.Petersburg Polytechnic University, St. Petersburg, Russia)
資料名:
IEEE Transactions on Plasma Science
(IEEE Transactions on Plasma Science)
巻:
45
号:
12
ページ:
3125-3129
発行年:
2017年
JST資料番号:
D0036B
ISSN:
0093-3813
CODEN:
ITPSBD
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)