文献
J-GLOBAL ID:201802228000069315
整理番号:18A2167766
フッ素化プラズマに対する焼結SiCの耐食性【JST・京大機械翻訳】
Corrosion resistance of sintered SiC against fluorinated plasmas
著者 (4件):
Goto Tetsuya
(New Industry Creation Hatchery Center, Tohoku University, Sendai 980-8579, Japan)
,
Miyahara Michito
(Hokuriku Seikei Industrial, Co., Ltd., Ishikawa 923-0157, Japan)
,
Sasaki Masaru
(Hokuriku Seikei Industrial, Co., Ltd., Ishikawa 923-0157, Japan)
,
Sugawa Shigetoshi
(New Industry Creation Hatchery Center, Tohoku University, Sendai 980-8579, Japan)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻:
36
号:
6
ページ:
061404-061404-6
発行年:
2018年
JST資料番号:
C0789B
ISSN:
0734-2101
CODEN:
JVTAD6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)