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文献
J-GLOBAL ID：201802228248899184
整理番号：18A0731873
電気化学的プロセスにおけるブロモシランからのシリコンの析出と形態変化
Deposition and Morphology Change of Silicon from Bromosilane in Electrochemical Process
友野和哲
(関東学院大 理工)
,
山脇嵩
(関東学院大 理工)
,
小後摩貴由
(関東学院大 理工)
,
柿原俊太
(東京理大 理)
,
田巻義規
(明海大 歯)
資料名：
関東学院大学工学総合研究所報
(Bulletin of Institute of Science and Technology. Kanto Gakuin University)
号： 46 ページ： 27-32 発行年： 2018年03月
JST資料番号： G0426B ISSN： 0387-2556 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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