文献
J-GLOBAL ID:201802228263952631
整理番号:18A1689092
RFプラズマ増強化学蒸着法により作製したゲルマニウム-炭素被覆の熱安定性【JST・京大機械翻訳】
Thermal stability of germanium-carbon coatings prepared by a RF plasma enhanced chemical vapor deposition method
著者 (4件):
Sousani F.
(Department of Materials Engineering, Malek Ashtar University of Technology, Isfahan, Iran)
,
Jamali H.
(Department of Materials Engineering, Malek Ashtar University of Technology, Isfahan, Iran)
,
Mozafarinia R.
(Department of Materials Engineering, Malek Ashtar University of Technology, Isfahan, Iran)
,
Eshaghi A.
(Department of Materials Engineering, Malek Ashtar University of Technology, Isfahan, Iran)
資料名:
Infrared Physics & Technology
(Infrared Physics & Technology)
巻:
93
ページ:
255-259
発行年:
2018年
JST資料番号:
H0184A
ISSN:
1350-4495
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)