文献
J-GLOBAL ID:201802229829983339
整理番号:18A0181455
Design of a capacitive MEMS double beam switch using dynamic pull-in actuation at very low voltage
著者 (2件):
SAMAALI Hatem
(Univ. Sousse, Sousse Erriadh, TUN)
,
NAJAR Fehmi
(Univ. Carthage, La Marsa, TUN)
資料名:
Microsystem Technologies
(Microsystem Technologies)
巻:
23
号:
12
ページ:
5317-5327
発行年:
2017年12月
JST資料番号:
W2056A
ISSN:
0946-7076
資料種別:
逐次刊行物 (A)
発行国:
ドイツ (DEU)
言語:
英語 (EN)