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文献
J-GLOBAL ID：201802230672613694
整理番号：18A2161644
トリミング工程における非対称エッチングプロファイルの機構
Mechanism of asymmetric etched profiles in trimming process
NEGISHI Nobuyuki
(Hitachi, Ltd., Tokyo, JPN)
,
NEGISHI Nobuyuki
(Hitachi, Ltd., Ibaraki, JPN)
,
MIYAKE Masatoshi
(Hitachi, Ltd., Tokyo, JPN)
,
TAKEDA Keigo
(Meijo Univ., Nagoya, JPN)
,
HORI Masaru
(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics
(Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 57 号： 10 ページ： 106201.1-106201.8 発行年： 2018年10月
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 CODEN： JJAPB6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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