文献
J-GLOBAL ID:201802231115014867
整理番号:18A1426955
強誘電性HfSiO MIMキャパシタのHAXPES評価【JST・京大機械翻訳】
HAXPES evaluation of ferroelectric HfSiO MIM capacitor
著者 (6件):
Usuda Koji
(Corporate Research & Development Center, Toshiba Corporation, Kawasaki, Japan)
,
Kamimuta Yuuichi
(Corporate Research & Development Center, Toshiba Corporation, Kawasaki, Japan)
,
Kabuyanagi Shoichi
(Corporate Research & Development Center, Toshiba Corporation, Kawasaki, Japan)
,
Yoshiki Masahiko
(Corporate Research & Development Center, Toshiba Corporation, Kawasaki, Japan)
,
Tomita Mitsuhiro
(Corporate Research & Development Center, Toshiba Corporation, Kawasaki, Japan)
,
Saitoh Masumi
(Corporate Research & Development Center, Toshiba Corporation, Kawasaki, Japan)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2018
号:
EDTM
ページ:
316-318
発行年:
2018年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)