文献
J-GLOBAL ID:201802231512464558
整理番号:18A2161647
UV硬化性結合材料を用いたUVナノインプリントリソグラフィーによるマイクロパターン化セラミックの作製プロセス
Fabrication process for micropatterned ceramics via UV-nanoimprint lithography using UV-curable binder
著者 (5件):
OKABE Takao
(Tokyo Univ. Sci., Tokyo, JPN)
,
KIM Yongtae
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
JIAO Zhenjun
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
SHIKAZONO Naoki
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
TANIGUCHI Jun
(Tokyo Univ. Sci., Tokyo, JPN)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics
(Japanese Journal of Applied Physics)
巻:
57
号:
10
ページ:
106501.1-106501.6
発行年:
2018年10月
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
CODEN:
JJAPB6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)