文献
J-GLOBAL ID:201802231546701808
整理番号:18A0630658
プラズモンデバイス応用のためのパルスレーザ堆積法により作製された基板に依存しない高金属TiN膜
Substrate independent highly metallic TiN films fabricated by pulsed laser deposition method for plasmonic device applications
著者 (7件):
SUGAVANESHWAR Ramu Pasupathi
(National Inst. for Materials Sci. (NIMS), Ibaraki, JPN)
,
ISHII Satoshi
(National Inst. for Materials Sci. (NIMS), Ibaraki, JPN)
,
DAO Thang Duy
(National Inst. for Materials Sci. (NIMS), Ibaraki, JPN)
,
OHI Akihiko
(National Inst. for Materials Sci. (NIMS), Ibaraki, JPN)
,
NABATAME Toshihide
(National Inst. for Materials Sci. (NIMS), Ibaraki, JPN)
,
NAGAO Tadaaki
(National Inst. for Materials Sci. (NIMS), Ibaraki, JPN)
,
NAGAO Tadaaki
(Hokkaido Univ., Sapporo, JPN)
資料名:
応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)
(Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻:
65th
ページ:
ROMBUNNO.17p-A404-6
発行年:
2018年03月05日
JST資料番号:
Y0054B
ISSN:
2436-7613
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
短報
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)