文献
J-GLOBAL ID:201802233017805991
整理番号:18A1860115
田口法による衝撃荷重下のCMOS-MEMSマイクロホンの応力解析【JST・京大機械翻訳】
Stress analysis of CMOS-MEMS microphone under shock loading by Taguchi method
著者 (3件):
Lu C.L.
(Department of Power Mechanical Engineering, National Tsing Hua University, Hsinchu 30013, Taiwan, ROC)
,
Ni P.R.
(Department of Power Mechanical Engineering, National Tsing Hua University, Hsinchu 30013, Taiwan, ROC)
,
Yeh M.K.
(Department of Power Mechanical Engineering, National Tsing Hua University, Hsinchu 30013, Taiwan, ROC)
資料名:
Microelectronics Reliability
(Microelectronics Reliability)
巻:
88-90
ページ:
824-828
発行年:
2018年
JST資料番号:
C0530A
ISSN:
0026-2714
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)