文献
J-GLOBAL ID:201802233409730383
整理番号:18A0849802
パリレン微小毛細管を製造する新しい方法【JST・京大機械翻訳】
A new method to manufacture parylene microcapillaries
著者 (4件):
Chou Tzu-Chieh
(Department of Electrical Engineering, California Institute of Technology, USA)
,
Pi Yudan
(Department of Electrical Engineering, California Institute of Technology, USA)
,
Xu Han
(Institute of Microelectronics, Peking University, China)
,
Tai Yu-Chong
(Department of Electrical Engineering, California Institute of Technology, USA)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2018
号:
MEMS
ページ:
1245-1248
発行年:
2018年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)