文献
J-GLOBAL ID:201802234488685560
整理番号:18A1211928
XPSによるSAW技術のためのCTGS基板の表面洗浄法の評価【JST・京大機械翻訳】
Evaluation of Surface Cleaning Procedures for CTGS Substrates for SAW Technology with XPS
著者 (5件):
Brachmann Erik
(IFW Dresden, SAWLab Saxony, Helmholzstr. 20, 01069 Dresden, Germany)
,
Seifert Marietta
(IFW Dresden, SAWLab Saxony, Helmholzstr. 20, 01069 Dresden, Germany)
,
Oswald Steffen
(IFW Dresden, SAWLab Saxony, Helmholzstr. 20, 01069 Dresden, Germany)
,
Menzel Siegfried B.
(IFW Dresden, SAWLab Saxony, Helmholzstr. 20, 01069 Dresden, Germany)
,
Gemming Thomas
(IFW Dresden, SAWLab Saxony, Helmholzstr. 20, 01069 Dresden, Germany)
資料名:
Materials (Web)
(Materials (Web))
巻:
10
号:
12
ページ:
1373
発行年:
2017年
JST資料番号:
U7237A
ISSN:
1996-1944
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
スイス (CHE)
言語:
英語 (EN)