文献
J-GLOBAL ID:201802235908155246
整理番号:18A0917693
液体スズのマグネトロンスパッタリング:固体スズとの比較
Magnetron sputtering of liquid tin: Comparison with solid tin
著者 (2件):
SASAKI Koichi
(Hokkaido Univ., Sapporo, JPN)
,
KOYAMA Hiroshi
(Hokkaido Univ., Sapporo, JPN)
資料名:
Applied Physics Express
(Applied Physics Express)
巻:
11
号:
3
ページ:
036201.1-036201.4
発行年:
2018年03月
JST資料番号:
F0599C
ISSN:
1882-0778
CODEN:
APEPC4
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)