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文献
J-GLOBAL ID：201802236580195510
整理番号：18A1682693
ガスクラスタイオンスパッタリング:有機層形態への影響【JST・京大機械翻訳】
Gas-cluster ion sputtering: Effect on organic layer morphology
Goodwin Christopher M.
(Department of Chemistry and Biochemistry, University of Delaware, Newark, Delaware 19716)
,
Voras Zachary E.
(Department of Chemistry and Biochemistry, University of Delaware, Newark, Delaware 19716)
,
Beebe Thomas P. Jr.
(Department of Chemistry and Biochemistry, University of Delaware, Newark, Delaware 19716)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 36 号： 5 ページ： 051507-051507-6 発行年： 2018年
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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