文献
J-GLOBAL ID:201802236888482430
整理番号:18A0940463
シリコンの磁気レオロジー仕上中に発生したナノメータ表面粗さの実験的およびシミュレーション研究【JST・京大機械翻訳】
Experimental and simulation study of nanometric surface roughness generated during Magnetorheological finishing of Silicon
著者 (9件):
Khatri Neha
(CSIR - Central Scientific Instruments Organisation, 160030 Chandigarh)
,
Khatri Neha
(Academy of Scientific & Innovative Research (AcSIR), CSIR-CSIO, Chandigarh)
,
Xavier Manoj J.
(Anna University, Chennai)
,
Mishra Vinod
(CSIR - Central Scientific Instruments Organisation, 160030 Chandigarh)
,
Mishra Vinod
(Indian Institute of Technology, Delhi)
,
Garg Harry
(CSIR - Central Scientific Instruments Organisation, 160030 Chandigarh)
,
Garg Harry
(Academy of Scientific & Innovative Research (AcSIR), CSIR-CSIO, Chandigarh)
,
Karar Vinod
(CSIR - Central Scientific Instruments Organisation, 160030 Chandigarh)
,
Karar Vinod
(Academy of Scientific & Innovative Research (AcSIR), CSIR-CSIO, Chandigarh)
資料名:
Materials Today: Proceedings
(Materials Today: Proceedings)
巻:
5
号:
2 P1
ページ:
6391-6400
発行年:
2018年
JST資料番号:
W3531A
ISSN:
2214-7853
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)