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文献
J-GLOBAL ID:201802236888482430   整理番号:18A0940463

シリコンの磁気レオロジー仕上中に発生したナノメータ表面粗さの実験的およびシミュレーション研究【JST・京大機械翻訳】

Experimental and simulation study of nanometric surface roughness generated during Magnetorheological finishing of Silicon
著者 (9件):
Khatri Neha
(CSIR - Central Scientific Instruments Organisation, 160030 Chandigarh)
Khatri Neha
(Academy of Scientific & Innovative Research (AcSIR), CSIR-CSIO, Chandigarh)
Xavier Manoj J.
(Anna University, Chennai)
Mishra Vinod
(CSIR - Central Scientific Instruments Organisation, 160030 Chandigarh)
Mishra Vinod
(Indian Institute of Technology, Delhi)
Garg Harry
(CSIR - Central Scientific Instruments Organisation, 160030 Chandigarh)
Garg Harry
(Academy of Scientific & Innovative Research (AcSIR), CSIR-CSIO, Chandigarh)
Karar Vinod
(CSIR - Central Scientific Instruments Organisation, 160030 Chandigarh)
Karar Vinod
(Academy of Scientific & Innovative Research (AcSIR), CSIR-CSIO, Chandigarh)

資料名:
Materials Today: Proceedings  (Materials Today: Proceedings)

巻:号: 2 P1  ページ: 6391-6400  発行年: 2018年 
JST資料番号: W3531A  ISSN: 2214-7853  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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