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文献
J-GLOBAL ID：201802236969292689
整理番号：18A0152769
マイクロ電気機械システムの作製におけるジアゾニウム誘起投錨プロセスの応用【Powered by NICT】
An Application of Diazonium-Induced Anchoring Process in the Fabrication of Micro-Electromechanical Systems
Zeb Gul
(ePeer Review LLC, 145 Pine Haven Shores Rd, Suite 1000-X, Shelburne, VT, 05482, USA)
,
Zeb Gul
(Department of Mining & Materials Engineering, McGill University, Montreal, Quebec, H3A 0C5, Canada)
,
Zafar Madiha
(Faculty of Medicine, McGill University, 1020 Pine Avenue West, Montreal, Quebec, H3A 1A2, Canada)
,
Palacin Serge
(Laboratory of Innovation in Chemistry of Surfaces and Nanosciences, NIMBE, CEA, CNRS, Universite Paris-Saclay, CEA Saclay, Gif-sur-Yvette, 91191, France)
,
Le Xuan Tuan
(Centre de Collaboration MiQro Innovation (C2MI), 45 Boulevard de l’Aeroport, Bromont Quebec, J2L 1S8, Canada)
資料名：
Advanced Materials Technologies
(Advanced Materials Technologies)
巻： 2 号： 12 ページ： ROMBUNNO.201700159 発行年： 2017年
JST資料番号： W2485A ISSN： 2365-709X 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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