文献
J-GLOBAL ID:201802237660619945
整理番号:18A1905184
フォトレジスト乾燥ストリップ応用のための円筒状ICP源におけるO2,N2およびO2-N2ガス中のEからHモードへの遷移の実験的測定【JST・京大機械翻訳】
Experimental measurement of E to H mode transition in O2, N2 and O2-N2 gases in cylindrical ICP source for photoresist dry-strip applications
著者 (4件):
Nawaz S.
(PSK Inc., Seoku-dong, Hwaseoung-si, 445-170, South Korea)
,
Rhee H. S.
(PSK Inc., Seoku-dong, Hwaseoung-si, 445-170, South Korea)
,
Kim D. H.
(PSK Inc., Seoku-dong, Hwaseoung-si, 445-170, South Korea)
,
Yoon S. J.
(PSK Inc., Seoku-dong, Hwaseoung-si, 445-170, South Korea)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2017
号:
ICOPS
ページ:
1
発行年:
2017年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)