文献
J-GLOBAL ID:201802238453532821
整理番号:18A0824713
小型加速のための容量MEMSセンサの解析【JST・京大機械翻訳】
Analysis of capacitive MEMS sensor for small accelerations
著者 (2件):
Chamraz Stefan
(Slovak University of Technology in Bratislava, UAMT FEI STU, Ilkovicova 3, Bratislava, Slovakia)
,
Balogh Richard
(Slovak University of Technology in Bratislava, UAMT FEI STU, Ilkovicova 3, Bratislava, Slovakia)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2018
号:
K&I
ページ:
1-5
発行年:
2018年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)