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文献
J-GLOBAL ID：201802239113170097
整理番号：18A1904558
高性能VCSELにおける光学モード工学のための不純物誘起無秩序化を制御するウエハスケール法【JST・京大機械翻訳】
Wafer-Scale Method of Controlling Impurity-Induced Disordering for Optical Mode Engineering in High-Performance VCSELs
Su Patrick
(Department of Electrical and Computer Engineering, University of Illinois at Urbana-Champaign, Urbana, IL, USA)
,
Hsiao Fu-Chen
(Department of Electrical and Computer Engineering, University of Illinois at Urbana-Champaign, Urbana, IL, USA)
,
O’Brien Thomas
(Department of Electrical and Computer Engineering, University of Illinois at Urbana-Champaign, Urbana, IL, USA)
,
Dallesasse John M.
(Department of Electrical and Computer Engineering, University of Illinois at Urbana-Champaign, Urbana, IL, USA)
資料名：
IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing
(IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing)
巻： 31 号： 4 ページ： 447-453 発行年： 2018年
JST資料番号： T0521A ISSN： 0894-6507 CODEN： ITSMED 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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