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文献
J-GLOBAL ID：201802239221487952
整理番号：18A1805480
反射準ランダム正方形ナノピラーアレイによる極端紫外領域における高次回折次数の抑制【JST・京大機械翻訳】
Suppression of higher diffraction orders in the extreme ultraviolet range by a reflective quasi-random square nano-pillar array
Wei Lai
(School of Physics Science and Engineering, Tongji University, Shanghai 200092, China)
,
Chen Yong
(Research Center of Laser Fusion, CAEP, Mianyang 21900, China)
,
Wang Shaoyi
(Research Center of Laser Fusion, CAEP, Mianyang 21900, China)
,
Fan Quanping
(Research Center of Laser Fusion, CAEP, Mianyang 21900, China)
,
Zhang Qiangqiang
(Research Center of Laser Fusion, CAEP, Mianyang 21900, China)
,
Qian Feng
(Research Center of Laser Fusion, CAEP, Mianyang 21900, China)
,
Shen Zhenxiang
(School of Physics Science and Engineering, Tongji University, Shanghai 200092, China)
,
Zhang Zhong
(School of Physics Science and Engineering, Tongji University, Shanghai 200092, China)
,
Hua Yilei
(Key Laboratory of Microelectronic Devices and Integrated Technology, Institute of Microelectronics of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100029, China)
,
Zhu Xiaoli
(Key Laboratory of Microelectronic Devices and Integrated Technology, Institute of Microelectronics of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100029, China)
,
Xie Changqing
(Key Laboratory of Microelectronic Devices and Integrated Technology, Institute of Microelectronics of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100029, China)
,
Wang Zhanshan
(School of Physics Science and Engineering, Tongji University, Shanghai 200092, China)
,
Cao Leifeng
(Research Center of Laser Fusion, CAEP, Mianyang 21900, China)
資料名：
Review of Scientific Instruments
(Review of Scientific Instruments)
巻： 89 号： 9 ページ： 093110-093110-7 発行年： 2018年
JST資料番号： D0517A ISSN： 0034-6748 CODEN： RSINAK 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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