文献
J-GLOBAL ID:201802239637754340
整理番号:18A1046948
層分解可能性による三重パターン化リソグラフィーを意識した詳細経路選定【JST・京大機械翻訳】
Triple patterning lithography-aware detailed routing ensuring via layer decomposability
著者 (2件):
Wu Hua-Yi
(Department of Electrical Engineering, National Taiwan University of Science and Technology, Taipei, Taiwan)
,
Fang Shao-Yun
(Department of Electrical Engineering, National Taiwan University of Science and Technology, Taipei, Taiwan)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2018
号:
VLSI-DAT
ページ:
1-4
発行年:
2018年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)