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文献
J-GLOBAL ID：201802239780620955
整理番号：18A1044595
先進技術ノードにおける設計ベースの自動欠陥分類:DI:欠陥検査と低減【JST・京大機械翻訳】
Design based automatic defect classification at advanced technology nodes: DI: Defect inspection and reduction
Shah Jay
(Applied Materials, 10 Stonebreak Road, Suite 2, Malta, NY 12020)
,
Jain Abhinav
(Applied Materials, 10 Stonebreak Road, Suite 2, Malta, NY 12020)
,
Levitov Felix
(Applied Materials, 10 Stonebreak Road, Suite 2, Malta, NY 12020)
,
Yasharzade Shay
(Applied Materials, 10 Stonebreak Road, Suite 2, Malta, NY 12020)
,
Sheridan John G.
(Characterization CFM, GLOBALFOUNDRIES, Malta, NY)
,
Nguyen Vu
(Characterization CFM, GLOBALFOUNDRIES, Malta, NY)
,
Nguyen Hoang
(Characterization CFM, GLOBALFOUNDRIES, Malta, NY)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2018 号： ASMC ページ： 270-275 発行年： 2018年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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