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文献
J-GLOBAL ID：201802240041515876
整理番号：18A0488341
コムのためのシングルエンド容量自己センシングシステム駆動XYナノ位置決め装置を駆動する【Powered by NICT】
Single ended capacitive self-sensing system for comb drives driven XY nanopositioners
del Corro Pablo G.
(Laboratorio de Bajas Temperaturas, Instituto Balseiro, Centro Atomico Bariloche, Comision Nacional de Energia Atomica, Av. Bustillo 9500, R8402AGP S. C. de Bariloche, Argentina)
,
del Corro Pablo G.
(Consejo Nacional de Investigaciones Cientificas y Tecnicas, Av. Rivadavia 1917, C1033AAJ C.A.B.A., Argentina)
,
Imboden Matthias
(Microsystems for Space Technologies Laboratory, Ecole Polytechnique Federale de Lausanne (EPFL), Neuchatel 2002, Switzerland)
,
Perez Diego J.
(Division of Material Science Boston University, Boston, MA 02215, United States)
,
Bishop David J.
(Division of Material Science Boston University, Boston, MA 02215, United States)
,
Bishop David J.
(Department of Physics, Boston University, Boston, MA 02215, United States)
,
Bishop David J.
(Department of Electrical & Computer Engineering, Boston University, Boston, MA 02215, United States)
,
Pastoriza Hernan
(Laboratorio de Bajas Temperaturas, Instituto Balseiro, Centro Atomico Bariloche, Comision Nacional de Energia Atomica, Av. Bustillo 9500, R8402AGP S. C. de Bariloche, Argentina)
,
Pastoriza Hernan
(Consejo Nacional de Investigaciones Cientificas y Tecnicas, Av. Rivadavia 1917, C1033AAJ C.A.B.A., Argentina)
資料名：
Sensors and Actuators. A. Physical
(Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 271 ページ： 409-417 発行年： 2018年
JST資料番号： B0345C ISSN： 0924-4247 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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