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文献
J-GLOBAL ID：201802240576253352
整理番号：18A0281756
陽子ビーム描画によるナノ粒子を含むエポキシレジストの微細構造化【Powered by NICT】
Micro-structuring of epoxy resists containing nanoparticles by proton beam writing
Sano Ryo
(Dept. of Electrical Engineering, Shibaura Institute of Technology (SIT), 3-7-5 Toyosu, Koto-ku, Tokyo 135-8548, Japan)
,
Hayakawa Simon
(Dept. of Electrical Engineering, Shibaura Institute of Technology (SIT), 3-7-5 Toyosu, Koto-ku, Tokyo 135-8548, Japan)
,
Hayashi Hidetaka
(SIT Research Laboratories, SIT, 307 Fukasaku, Minuma-ku, Saitama-shi, Saitama 337-8570, Japan)
,
Ishii Yasuyuki
(Takasaki Advanced Radiation Research Institute, National Institutes for Quantum and Radiological Science and Technology (QST), 1233 Watanuki-machi, Takasaki-shi, Gunma 370-1292, Japan)
,
Nishikawa Hiroyuki
(Dept. of Electrical Engineering, Shibaura Institute of Technology (SIT), 3-7-5 Toyosu, Koto-ku, Tokyo 135-8548, Japan)
,
Nishikawa Hiroyuki
(SIT Research Laboratories, SIT, 307 Fukasaku, Minuma-ku, Saitama-shi, Saitama 337-8570, Japan)
資料名：
Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms
(Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms)
巻： 404 ページ： 228-232 発行年： 2017年
JST資料番号： H0899A ISSN： 0168-583X 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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