文献
J-GLOBAL ID:201802241222200899
整理番号:18A1512250
Cu RDLプロセスのためのCu過負荷を制御する効果的方法【JST・京大機械翻訳】
Effective Methods Controlling Cu Overburdens for Cu RDL Process
著者 (3件):
Park Kimoon
(Hanyang University, Department of Material Science & Engineering, Ansan-si, KOREA)
,
Lee Jinhyun
(Hanyang University, Department of Material Science & Engineering, Ansan-si, KOREA)
,
Yoo Bongyoung
(Hanyang University, Department of Material Science & Engineering, Ansan-si, KOREA)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2018
号:
IITC
ページ:
106-108
発行年:
2018年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)