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文献
J-GLOBAL ID：201802242841231282
整理番号：18A2043980
パターン崩壊評価のための300mmウエハ開発【JST・京大機械翻訳】
300 mm Wafer Development for Pattern Collapse Evaluations
Xu Xiu Mei
(IMEC; Kapeldreef 75, Leuven, 3001, Belgium)
,
Zheng Tao
(IMEC; Kapeldreef 75, Leuven, 3001, Belgium)
,
Saib Mohamed
(IMEC; Kapeldreef 75, Leuven, 3001, Belgium)
,
Sebaai Farid
(IMEC; Kapeldreef 75, Leuven, 3001, Belgium)
,
van de Kerkhove Jeroen
(IMEC; Kapeldreef 75, Leuven, 3001, Belgium)
,
Vrancken Nandi
(IMEC; Kapeldreef 75, Leuven, 3001, Belgium)
,
Vereecke Guy
(IMEC; Kapeldreef 75, Leuven, 3001, Belgium)
,
Holsteyns Frank
(IMEC; Kapeldreef 75, Leuven, 3001, Belgium)
資料名：
Solid State Phenomena
(Solid State Phenomena)
巻： 282 ページ： 207-210 発行年： 2018年
JST資料番号： T0583A ISSN： 1012-0394 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： スイス (CHE) 言語： 英語 (EN)
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