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文献
J-GLOBAL ID：201802243503543557
整理番号：18A0995162
TOF-SIMSにおける分子イオン検出のための低エネルギービスマス一次イオンビーム【JST・京大機械翻訳】
Low-energy bismuth primary ion beams for molecular ion detection in TOF-SIMS
Miyayama Takuya
(ULVAC-PHI Inc., 370 Enzo, Chigasaki, Kanagawa 253-8522, Japan)
,
Iida Shin-ichi
(ULVAC-PHI Inc., 370 Enzo, Chigasaki, Kanagawa 253-8522, Japan)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena)
巻： 36 号： 3 ページ： 03F126-03F126-5 発行年： 2018年
JST資料番号： E0974A ISSN： 2166-2746 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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