文献
J-GLOBAL ID:201802243875906588
整理番号:18A1212239
異なる波長効果を持つナノ秒パルスレーザ照射に基づく多結晶シリコン損傷特徴の研究【JST・京大機械翻訳】
A Study of Polycrystalline Silicon Damage Features Based on Nanosecond Pulse Laser Irradiation with Different Wavelength Effects
著者 (4件):
Xu Jiangmin
(School of Mechanical Engineering, Jiangsu University of Science and Technology, Zhenjiang 212013, Jiangsu, China)
,
Chen Chao
(School of Mechanical Engineering, Jiangsu University of Science and Technology, Zhenjiang 212013, Jiangsu, China)
,
Zhang Tengfei
(School of Mechanical Engineering, Jiangsu University of Science and Technology, Zhenjiang 212013, Jiangsu, China)
,
Han Zhenchun
(School of Mechanical Engineering, Jiangsu University, Zhenjiang 212013, Jiangsu, China)
資料名:
Materials (Web)
(Materials (Web))
巻:
10
号:
3
ページ:
260
発行年:
2017年
JST資料番号:
U7237A
ISSN:
1996-1944
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
スイス (CHE)
言語:
英語 (EN)