文献
J-GLOBAL ID:201802243971258301
整理番号:18A1698042
非平行プレート配置に対する波動光学に基づいた評価法
An Estimation Method for Alignment of Non-parallel Plates based on Wave Optics
著者 (5件):
PARK Junghwan
(Korea Univ., Sejong, KOR)
,
KIM Sangyun
(Korea Univ., Sejong, KOR)
,
PARK Sungjae
(Korea Univ., Sejong, KOR)
,
PARK Sinwoong
(Korea Univ., Sejong, KOR)
,
KIM Hwi
(Korea Univ., Sejong, KOR)
資料名:
応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)
(Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
巻:
79th
ページ:
ROMBUNNO.19a-221B-4
発行年:
2018年09月05日
JST資料番号:
Y0055B
ISSN:
2758-4704
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
短報
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)