文献
J-GLOBAL ID:201802245097405368
整理番号:18A1044618
14nmノードのためのSTI HARPギャップ充填厚み均一性の改善【JST・京大機械翻訳】
STI HARP gap-fill thickness uniformity improvement for 14nm nodes
著者 (7件):
Wang Minrui
(AME - CVD, GLOBALFOUNDRIES, Malta, USA)
,
Kim Hui
(AME - CVD, GLOBALFOUNDRIES, Malta, USA)
,
Lee Yang Bum
(AME - CVD, GLOBALFOUNDRIES, Malta, USA)
,
Fonda Francis
(AME - CVD, GLOBALFOUNDRIES, Malta, USA)
,
Lansford Jeremy
(AME - CVD, GLOBALFOUNDRIES, Malta, USA)
,
Martiniano Jim
(CVD, Applied Materials, Malta, USA)
,
Carter Harold
(CVD, Applied Materials, Malta, USA)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2018
号:
ASMC
ページ:
386-389
発行年:
2018年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)