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文献
J-GLOBAL ID：201802245167568989
整理番号：18A0994866
低・中真空領域における排気方程式の検証
An Examination of the Pumpdown Equation in the Low and Medium Vacuum Regions
横川敬一
(大阪市立大学大学院 工学研究科 電子情報系専攻)
,
瀬戸泰平
(大阪市立大学大学院 工学研究科 電子情報系専攻)
,
福田常男
(大阪市立大学大学院 工学研究科 電子情報系専攻)
資料名：
表面と真空
(Vacuum and Surface Science)
巻： 61 号： 5 ページ： 292-295(J-STAGE) 発行年： 2018年
JST資料番号： G0194B ISSN： 2433-5835 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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