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文献
J-GLOBAL ID:201802245167568989   整理番号:18A0994866

低・中真空領域における排気方程式の検証

An Examination of the Pumpdown Equation in the Low and Medium Vacuum Regions
著者 (3件):
横川敬一
(大阪市立大学大学院 工学研究科 電子情報系専攻)
瀬戸泰平
(大阪市立大学大学院 工学研究科 電子情報系専攻)
福田常男
(大阪市立大学大学院 工学研究科 電子情報系専攻)

資料名:
表面と真空  (Vacuum and Surface Science)

巻: 61  号:ページ: 292-295(J-STAGE)  発行年: 2018年 
JST資料番号: G0194B  ISSN: 2433-5835  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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