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文献
J-GLOBAL ID：201802245239855479
整理番号：18A1679572
電気ナノプローブ分析による見えない欠陥同定【JST・京大機械翻訳】
Invisible Defect Identification by Electrical Nanoprobing Analysis
Ng P.T.
(Product, Test, Failure Analysis Group, GLOBALFOUNDRIES Singapore GLOBALFOUNDRIES Singapore Pte. Ltd., 60 Woodlands Industrial Park D Street 2, 738406, Singapore)
,
Chen C.Q.
(Product, Test, Failure Analysis Group, GLOBALFOUNDRIES Singapore GLOBALFOUNDRIES Singapore Pte. Ltd., 60 Woodlands Industrial Park D Street 2, 738406, Singapore)
,
Tam Y.S.
(Product, Test, Failure Analysis Group, GLOBALFOUNDRIES Singapore GLOBALFOUNDRIES Singapore Pte. Ltd., 60 Woodlands Industrial Park D Street 2, 738406, Singapore)
,
Yip K.H.
(Product, Test, Failure Analysis Group, GLOBALFOUNDRIES Singapore GLOBALFOUNDRIES Singapore Pte. Ltd., 60 Woodlands Industrial Park D Street 2, 738406, Singapore)
,
Teo Angela
(Product, Test, Failure Analysis Group, GLOBALFOUNDRIES Singapore GLOBALFOUNDRIES Singapore Pte. Ltd., 60 Woodlands Industrial Park D Street 2, 738406, Singapore)
,
Ang G.H.
(Product, Test, Failure Analysis Group, GLOBALFOUNDRIES Singapore GLOBALFOUNDRIES Singapore Pte. Ltd., 60 Woodlands Industrial Park D Street 2, 738406, Singapore)
,
Mai Z.H.
(Product, Test, Failure Analysis Group, GLOBALFOUNDRIES Singapore GLOBALFOUNDRIES Singapore Pte. Ltd., 60 Woodlands Industrial Park D Street 2, 738406, Singapore)
,
Lam Jeffrey
(Product, Test, Failure Analysis Group, GLOBALFOUNDRIES Singapore GLOBALFOUNDRIES Singapore Pte. Ltd., 60 Woodlands Industrial Park D Street 2, 738406, Singapore)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2018 号： IPFA ページ： 1-4 発行年： 2018年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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