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文献
J-GLOBAL ID：201802245734220510
整理番号：18A0018970
タングステン-チタン障壁層の膜応力と密着性に及ぼす焼なましの影響【Powered by NICT】
Annealing effects on the film stress and adhesion of tungsten-titanium barrier layers
Kleinbichler A.
(KAI - Kompetenzzentrum Automobil- und Industrieelektronik GmbH, Technologiepark Villach, Europastrasse 8, Villach 9524, Austria)
,
Kleinbichler A.
(Erich Schmid Institute for Material Science, Austrian Academy of Sciences and Dept. Material Physics, Montanuniversitaet Leoben, Jahnstrasse 12, Leoben 8700, Austria)
,
Todt J.
(Erich Schmid Institute for Material Science, Austrian Academy of Sciences and Dept. Material Physics, Montanuniversitaet Leoben, Jahnstrasse 12, Leoben 8700, Austria)
,
Zechner J.
(KAI - Kompetenzzentrum Automobil- und Industrieelektronik GmbH, Technologiepark Villach, Europastrasse 8, Villach 9524, Austria)
,
Wohlert S.
(Infineon Technologies AG, Siemensstrasse 2, 9500 Villach, Austria)
,
Tobbens D.M.
(Helmholtz-Zentrum Berlin fuer Materialien und Energie, Albert-Einstein-Str. 15, 12489 Berlin, Germany)
,
Cordill M.J.
(Erich Schmid Institute for Material Science, Austrian Academy of Sciences and Dept. Material Physics, Montanuniversitaet Leoben, Jahnstrasse 12, Leoben 8700, Austria)
資料名：
Surface & Coatings Technology
(Surface & Coatings Technology)
巻： 332 ページ： 376-381 発行年： 2017年
JST資料番号： D0205C ISSN： 0257-8972 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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