文献
J-GLOBAL ID:201802246232204719
整理番号:18A1861524
高出力パルスマグネトロンスパッタリングにおけるCr被覆の高温Crターゲットの表面エロージョンと堆積速度【JST・京大機械翻訳】
Surface erosion of hot Cr target and deposition rates of Cr coatings in high power pulsed magnetron sputtering
著者 (6件):
Bleykher G.A.
(Tomsk Polytechnic University, Lenin Avenue 2a, Tomsk 634028, Russia)
,
Sidelev D.V.
(Tomsk Polytechnic University, Lenin Avenue 2a, Tomsk 634028, Russia)
,
Grudinin V.A.
(Tomsk Polytechnic University, Lenin Avenue 2a, Tomsk 634028, Russia)
,
Krivobokov V.P.
(Tomsk Polytechnic University, Lenin Avenue 2a, Tomsk 634028, Russia)
,
Bestetti M.
(Tomsk Polytechnic University, Lenin Avenue 2a, Tomsk 634028, Russia)
,
Bestetti M.
(Politecnico di Milano, Department of Chemistry, Materials and Chemical Engineering “Giulio Natta”, Milano, Italy)
資料名:
Surface & Coatings Technology
(Surface & Coatings Technology)
巻:
354
ページ:
161-168
発行年:
2018年
JST資料番号:
D0205C
ISSN:
0257-8972
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)