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文献
J-GLOBAL ID：201802248532743504
整理番号：18A1008187
集積化された非蒸発性ゲッター薄膜コーティングによる銅電鋳真空チェンバの開発【JST・京大機械翻訳】
Development of copper electroformed vacuum chambers with integrated non-evaporable getter thin film coatings
Lain Amador Lucia
(CERN, European Organization for Nuclear Research, CH-1211 Geneva 23, Switzerland and Institut UTINAM, F-25030, Besancon, Univ. Bourgogne Franche-Comte, France)
,
Chiggiato Paolo
(CERN, European Organization for Nuclear Research, CH-1211 Geneva 23, Switzerland)
,
Ferreira Leonel M. A.
(CERN, European Organization for Nuclear Research, CH-1211 Geneva 23, Switzerland)
,
Nistor Valentin
(CERN, European Organization for Nuclear Research, CH-1211 Geneva 23, Switzerland)
,
Perez Fontenla Ana T.
(CERN, European Organization for Nuclear Research, CH-1211 Geneva 23, Switzerland)
,
Taborelli Mauro
(CERN, European Organization for Nuclear Research, CH-1211 Geneva 23, Switzerland)
,
Vollenberg Wilhelmus
(CERN, European Organization for Nuclear Research, CH-1211 Geneva 23, Switzerland)
,
Doche Marie-Laure
(Institut UTINAM, F-25030, Besancon, Univ. Bourgogne Franche-Comte, France)
,
Hihn Jean-Yves
(Institut UTINAM, F-25030, Besancon, Univ. Bourgogne Franche-Comte, France)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 36 号： 2 ページ： 021601-021601-7 発行年： 2018年
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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