文献
J-GLOBAL ID:201802249526695078
整理番号:18A0970944
イオン軌跡のシミュレーションによる遅延場エネルギー分析器伝送の解析【JST・京大機械翻訳】
Analysis of retarding field energy analyzer transmission by simulation of ion trajectories
著者 (6件):
van de Ven T. H. M.
(University of Technology Eindhoven, Eindhoven, The Netherlands)
,
de Meijere C. A.
(ASML, Veldhoven, The Netherlands)
,
van der Horst R. M.
(ASML, Veldhoven, The Netherlands)
,
van Kampen M.
(ASML, Veldhoven, The Netherlands)
,
Banine V. Y.
(University of Technology Eindhoven, Eindhoven, The Netherlands)
,
Beckers J.
(University of Technology Eindhoven, Eindhoven, The Netherlands)
資料名:
Review of Scientific Instruments
(Review of Scientific Instruments)
巻:
89
号:
4
ページ:
043501-043501-11
発行年:
2018年
JST資料番号:
D0517A
ISSN:
0034-6748
CODEN:
RSINAK
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)