文献
J-GLOBAL ID:201802251831000932
整理番号:18A0155448
プラズマ増強A LDにより成長させた裸およびキャップしたZrN膜のXPSの比較:環境酸化の影響【Powered by NICT】
Comparing XPS on bare and capped ZrN films grown by plasma enhanced ALD: Effect of ambient oxidation
著者 (2件):
Muneshwar Triratna
(Department of Chemical and Materials Engineering, University of Alberta, Edmonton, Alberta T6G 1H9, Canada)
,
Cadien Ken
(Department of Chemical and Materials Engineering, University of Alberta, Edmonton, Alberta T6G 1H9, Canada)
資料名:
Applied Surface Science
(Applied Surface Science)
巻:
435
ページ:
367-376
発行年:
2018年
JST資料番号:
B0707B
ISSN:
0169-4332
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)