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文献
J-GLOBAL ID：201802252113953646
整理番号：18A1426417
2次元データによる仮想計測モデリングのためのコンピュータビジョンにヒントを得た深層学習アーキテクチャ【JST・京大機械翻訳】
A Computer Vision-Inspired Deep Learning Architecture for Virtual Metrology Modeling With 2-Dimensional Data
Maggipinto Marco
(Department of Information Engineering, University of Padova, Padua, Italy)
,
Terzi Matteo
(Department of Information Engineering and with the Human Inspired Technology Research Center, University of Padova, Padua, Italy)
,
Masiero Chiara
(Department of Information Engineering, University of Padova, Padua, Italy)
,
Beghi Alessandro
(Department of Information Engineering and with the Human Inspired Technology Research Center, University of Padova, Padua, Italy)
,
Susto Gian Antonio
(Department of Information Engineering and with the Human Inspired Technology Research Center, University of Padova, Padua, Italy)
資料名：
IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing
(IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing)
巻： 31 号： 3 ページ： 376-384 発行年： 2018年
JST資料番号： T0521A ISSN： 0894-6507 CODEN： ITSMED 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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