文献
J-GLOBAL ID:201802252618609750
整理番号:18A1103485
櫛形電極間の静電電位を使った共鳴加速度計
Resonant Accelerometers using Electrostatic Potential between the Comb Electrodes
著者 (3件):
Liu Jiannan
(Chiba Institute of Technology)
,
Hoshino Keisuke
(Chiba Institute of Technology)
,
Muro Hideo
(Chiba Institute of Technology)
資料名:
電気学会論文誌 E
(IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines)
巻:
138
号:
6
ページ:
226-230(J-STAGE)
発行年:
2018年
JST資料番号:
L3098A
ISSN:
1341-8939
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)