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文献
J-GLOBAL ID：201802252736171062
整理番号：18A1697239
MEMS加速度センサに向けた金めっき微小カンチレバーのヤング率に関する研究
中島英亮
(東京工大)
,
CHANG Tso-Fu Mark
(東京工大)
,
CHEN Chun-Yi
(東京工大)
,
山根大輔
(東京工大)
,
小西敏文
(NTT-AT)
,
町田克之
(東京工大)
,
年吉洋
(東大)
,
伊藤浩之
(東京工大)
,
益一哉
(東京工大)
,
曽根正人
(東京工大)
資料名：
応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)
(Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
巻： 79th ページ： ROMBUNNO.18a-233-6 発行年： 2018年09月05日
JST資料番号： Y0055B ISSN： 2758-4704 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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