文献
J-GLOBAL ID:201802253391062154
整理番号:18A0593922
シリコンウィンドウ上でのSiO2/Si3N4多層膜の反射防止膜を用いた非冷却マイクロボロメータの性能評価
Performance Evaluation for Uncooled Microbolometer Using Antireflection Coating of SiO2/Si3N4 Multiple Films on Silicon Window
著者 (4件):
ZENG Hong-Yuan
(National Defense Univ., Tauyuan County, TWN)
,
ZENG Hong-Yuan
(National Chung Shun Inst. Sci. and Technol., Tauyuan County, TWN)
,
TANG Shiang-Feng
(National Chung Shun Inst. Sci. and Technol., Tauyuan County, TWN)
,
CHEN Tzu-Chiang
(National Defense Univ., Tauyuan County, TWN)
資料名:
Sensors and Materials
(Sensors and Materials)
巻:
30
号:
3 (1)
ページ:
339-345
発行年:
2018年
JST資料番号:
L0338A
ISSN:
0914-4935
CODEN:
SENMER
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)