文献
J-GLOBAL ID:201802253470728151
整理番号:18A0189855
導電性半導体薄膜及び超伝導薄膜のシート抵抗と抵抗率の測定【Powered by NICT】
Sheet resistance and resistivity measurements of thin conducting semiconducting and superconducting films
著者 (1件):
Krupka Jerzy
(Institute of Microelectronics and Optoelectronics, Warsaw University of Technology, 00-665 Warsaw, Poland)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2017
号:
IMWS-AMP
ページ:
1-3
発行年:
2017年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)