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文献
J-GLOBAL ID：201802254766783478
整理番号：18A0490977
有機金属化学蒸着により堆積したニオブをドープしたチタニアエピタキシャル膜の特性評価【Powered by NICT】
Characterization of niobium-doped titania epitaxial films deposited by metalorganic chemical vapor deposition
Zhao Wei
(School of Microelectronics, Shandong University, Jinan 250100, PR China)
,
Luan Caina
(School of Microelectronics, Shandong University, Jinan 250100, PR China)
,
Ma Xiaochen
(BOE Technology Group Co. Ltd., Beijing 100016, PR China)
,
Feng Xianjin
(School of Microelectronics, Shandong University, Jinan 250100, PR China)
,
He Linan
(School of Microelectronics, Shandong University, Jinan 250100, PR China)
,
Ma Jin
(School of Microelectronics, Shandong University, Jinan 250100, PR China)
資料名：
Materials Characterization
(Materials Characterization)
巻： 137 ページ： 263-268 発行年： 2018年
JST資料番号： D0448C ISSN： 1044-5803 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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