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J-GLOBAL ID：201802255552235231 整理番号：18A0633853

反応性ガスクラスターインジェクションを用いた斜め2方向エッチングによる3D構造の作成

著者 (7件)：

瀬木利夫

(京大大学院)

山本洋揮

(量研)

古澤孝弘

(大阪大産科研)

荘所正

(岩谷産業)

小池国彦

(岩谷産業)

青木学聡

(京大メディアセ)

松尾二郎

(京大大学院)

資料名：

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))

巻： 65th ページ： ROMBUNNO.20a-B403-6 発行年： 2018年03月05日
JST資料番号： Y0054B ISSN： 2436-7613 資料種別：会議録 (C)
記事区分：短報発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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