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文献
J-GLOBAL ID:201802255552235231   整理番号:18A0633853

反応性ガスクラスターインジェクションを用いた斜め2方向エッチングによる3D構造の作成

著者 (7件):
瀬木利夫
(京大 大学院)
山本洋揮
(量研)
古澤孝弘
(大阪大 産科研)
荘所正
(岩谷産業)
小池国彦
(岩谷産業)
青木学聡
(京大 メディアセ)
松尾二郎
(京大 大学院)

資料名:
応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))

巻: 65th  ページ: ROMBUNNO.20a-B403-6  発行年: 2018年03月05日 
JST資料番号: Y0054B  ISSN: 2436-7613  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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